技術背景
半導體行業作為我國新出現并快速發展的一個生產行業,主要應用于電子機械制造中,對我們經濟發展具有重要的支撐作用。目前半導體行業生產廢水主要有三大類,分別是含氟廢水、含銅廢水以及含氨廢水,三類廢水因為水質復雜、污染物含量高,對環境均具有較為嚴重的影響,加強半導體生產廢水的處理是企業急需解決的環保難題。
技術特點
針對半導體生產廢水的特征污染物和處理要求,中國煤科杭州研究院提出分類收集、分質處理、達標排放的治理思路和配套工藝,具體而言,對含氟磷廢水采用多級梯度式同步除氟去磷強化預處理技術;對高氨氮廢水采用高效絮凝澄清預處理;對電鍍含銅廢水采用序批式物化澄清過濾強化處理,三股廢水預處理后采用調質與復合反硝化耦合高密度生物增濃技術,實現各類污染物分級深度全流程去除,系統具有良好的耐沖擊能力和運行穩定性。
典型案例
中國煤科杭州研究院已將半導體生產廢水成套技術與裝備應用于多個同類廢水處理工程中,如浙江某半導體有限公司400m3/d半導體廢水處理工程,項目涉及整個污水處理廠工程設計、設備采購、非標設備制作、安裝、工程調試及技術服務,屬EPC交鑰匙工程,廢水經物化和生物脫氮處理后實現達標排放,氨氮<30mg/L。
浙江某半導體有限公司半導體生產廢水處理工程,處理能力400m3/d